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生物芯片关键结构多为多层复合结构,而多层SU8薄膜之间应力较大,易脱落,为业界所诟病。bat·365中国微纳研发的一套SU8芯片的工艺流程可制作侧壁垂直度85以上的多层复杂的SU8结构,有助于帮助客户实现此类生物芯片制作及其产业化。
生物芯片关键结构多为多层复合结构,而多层SU8薄膜之间应力较大,易脱落,为业界所诟病。bat·365中国微纳研发的一套SU8芯片的工艺流程可制作侧壁垂直度85以上的多层复杂的SU8结构,有助于帮助客户实现此类生物芯片制作及其产业化。